SF6虽然无毒，但是，由于产品不纯，含有高毒性的低氟化硫、氟化氢等有毒气体，在大功率电弧、火花放电和电晕放电作用下，SF6气体能分解和游离出多种产物，主要是S2F10、SF4和SF2，以及少量的S2、F2、S、F等。

　　SF6侵入人体的主要途径是通过呼吸道吸入体内。对呼吸系统有强烈的刺激作用，当吸入高浓度SF6时可出现呼吸困难、喘息、皮肤和粘膜变蓝、全身痉挛等窒息症状。

　　当发生泄漏时，迅速达到空气中该气体的有害浓度安装SF6报警器智能联动排风扇可以有效避免对人体的伤害。经电弧激发，生成SF4、S2F10、S2F6等，这些成份泄露出来与水份反应生成HF，对人体造成危害。

　　短期接触的影响：液体迅速蒸发，可能引起冻伤。

　　配电室SF6气体增多会使氧气的含量减少 。操作不当SF6会分解成有毒气体 。进去配电室前最好通风 ，设备间的空气质量本来就不是太好。 常通风没坏处的 ， 现在为了安全起见，国家已经要求配电室必须安装SF6报警器了还可智能联动排风扇，智能联动电磁阀，智能报警装置，氢氟碳化物也是气候变暖的重要因素，等量的氢氟碳化物致暖效应要比二氧化碳高几千倍。